在半導(dǎo)體分立器件制造過程中,鑲嵌工序常面臨巨大工藝壓力——樣品邊緣易崩裂、界面結(jié)合不牢、熱應(yīng)力導(dǎo)致微觀損傷等問題頻發(fā)。金相鑲嵌技術(shù)通過精準(zhǔn)的溫度壓力控制,可實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料的無損包埋,其優(yōu)勢體現(xiàn)在三個方面:
真空鑲嵌系統(tǒng)能徹底排除氣泡,避免器件界面出現(xiàn)固化缺陷。以環(huán)氧樹脂鑲嵌為例,通過50-70℃的梯度升溫和10-15MPa的均衡壓力,可實現(xiàn)與半導(dǎo)體基底的完美共形接觸。
冷鑲嵌工藝特別適合熱敏器件。采用雙組分丙烯酸樹脂在室溫下固化,既能保護(hù)脆性引線結(jié)構(gòu),又能維持PN結(jié)的電學(xué)特性。實測數(shù)據(jù)顯示,采用優(yōu)化參數(shù)處理的二極管器件,反向擊穿電壓偏差可控制在±2%以內(nèi)。
更重要的是智能鑲嵌機(jī)的過程監(jiān)控能力。新一代設(shè)備配備紅外測溫與壓力傳感器,可實時調(diào)整工藝參數(shù)。當(dāng)檢測到硅片應(yīng)力超過0.3GPa時,系統(tǒng)會自動觸發(fā)壓力補(bǔ)償機(jī)制,這種動態(tài)調(diào)節(jié)使成品率提升至98.7%。
實踐表明,在制造TO-220封裝的分立器件時,采用金相鑲嵌的樣品經(jīng)1000次熱循環(huán)后仍保持結(jié)構(gòu)完整,而傳統(tǒng)方法處理的對照組在400次后即出現(xiàn)封裝開裂。這種技術(shù)突破不僅解除了生產(chǎn)壓力,更推動了功率器件可靠性標(biāo)準(zhǔn)的提升。
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更新時間:2026-01-13 15:02:46